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二次元影像測量儀在加裝探針之后，也可以簡單的檢測工件的三維參數，那么三次元測量儀和二次元影像測量儀加探針又有什么不同呢，它們的區別就是三次元測量儀除了可以完成簡單的長寬高的三維測量，還可以對工件的復雜曲面等進行測量及空間尺寸測量。
作為精密的測量儀器，三次元測量儀分別為X，Y，Z三個方向，二次元為X ，Y兩個方向，三次元精度會比二次元高一些，其價格、重量方面也高于二次元影像測量儀，普通的線性導軌二次元價格大概在二到五萬左右,氣動的大概在20萬左右,三次元測量儀的話要更貴。三次元測量儀在很多范圍都有應用，同時也可以測量工件的許多參數。